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EFG(导模法)炉

发布时间:2021-08-25
浏览量:564次
EFG(导模法)炉.png 技术参数

1.炉腔高: Φ560×1250mm(开门式)     


2.单晶拉速范围: 0.01~8mm/min无级调速 

10.最高加热温度:2100℃ 

3.籽晶慢速升降:0-60mm/h无级调速

11.电源(进线):3相380V

4.籽晶快升/快降:0-9000mm/h无级调速

12. 主机最大高度: 3200mm

5.籽晶轴最大升降的行程:600mm

13. 炉腔极限真空:≤6.7×10-1Pa

6.坩埚慢速升降:0-60mm/h无级调速

14. 主机重量:约1000Kg

7.坩埚快升/快降:0-9000mm/min无级调速

15. 整机重量: 约2000Kg 

8.坩埚轴最大升、降的行程:200mm

16.加热器电源功率: 90KW

9. 进水压力:0.3 MPa±0.02

      进水温度:20 ~25℃

17. 整机占地面积:3000×3000mm




图片6.png

EFG法多片级第一炉晶体(15片)






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