技术参数 |
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1.炉腔高: Φ560×1250mm(开门式) |
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2.单晶拉速范围: 0.01~8mm/min无级调速 |
10.最高加热温度:2100℃ |
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3.籽晶慢速升降:0-60mm/h无级调速 |
11.电源(进线):3相380V |
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4.籽晶快升/快降:0-9000mm/h无级调速 |
12. 主机最大高度: 3200mm |
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5.籽晶轴最大升降的行程:600mm |
13. 炉腔极限真空:≤6.7×10-1Pa |
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6.坩埚慢速升降:0-60mm/h无级调速 |
14. 主机重量:约1000Kg |
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7.坩埚快升/快降:0-9000mm/min无级调速 |
15. 整机重量: 约2000Kg |
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8.坩埚轴最大升、降的行程:200mm |
16.加热器电源功率: 90KW |
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9. 进水压力:0.3 MPa±0.02 进水温度:20 ~25℃ |
17. 整机占地面积:3000×3000mm |
EFG法多片级第一炉晶体(15片) |
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