 | 技术参数 | ||
1.炉腔尺寸：φ450×900 mm | |||
| 2.籽晶拉速范围：0.1～8mm/min | 12.冷炉漏气率：1Pa./2h | ||
| 3.籽晶快升/快降：≤300mm/min | 13.耗水量：8m-3/h | ||
| 4.籽晶转速范围：1～30rpm | 14.氩气进口压力：0.05～0.15 MPa | ||
| 5.籽晶在炉内行程：400mm | 15.腔体炉内最大压力：0.3MPa | ||
| 6.坩埚快升/快降：≤300mm/min | 16.加热电源配置: 10KW 36V 300A | ||
| 7.坩埚转速范围：1～30rpm | 17.电源:三相 380V±5%，50Hz | ||
| 8.坩埚轴行程：150mm | 18.最高温度：800℃ | ||
| 9.电极中心距/数量：350mm(一对) | 19.主机最大高度：约3000m | ||
| 10.冷炉的极限真空度：≤2Pa | 20.占地面积：3000*3000mm | ||
11.冷却水水质：3-5MΩ PH=6～9 氯离子含量≤10ppmm | 21.进水压力 ：0.2- 0.3MPa 进水温度： 25℃±2℃ | ||
 | 高纯金属设备长晶产品（铟） | ||
