技术参数 | |||
1.炉腔尺寸:φ450×900 mm | |||
2.籽晶拉速范围:0.1~8mm/min | 12.冷炉漏气率:1Pa./2h | ||
3.籽晶快升/快降:≤300mm/min | 13.耗水量:8m-3/h | ||
4.籽晶转速范围:1~30rpm | 14.氩气进口压力:0.05~0.15 MPa | ||
5.籽晶在炉内行程:400mm | 15.腔体炉内最大压力:0.3MPa | ||
6.坩埚快升/快降:≤300mm/min | 16.加热电源配置: 10KW 36V 300A | ||
7.坩埚转速范围:1~30rpm | 17.电源:三相 380V±5%,50Hz | ||
8.坩埚轴行程:150mm | 18.最高温度:800℃ | ||
9.电极中心距/数量:350mm(一对) | 19.主机最大高度:约3000m | ||
10.冷炉的极限真空度:≤2Pa | 20.占地面积:3000*3000mm | ||
11.冷却水水质:3-5MΩ PH=6~9 氯离子含量≤10ppmm | 21.进水压力 :0.2- 0.3MPa 进水温度: 25℃±2℃ |
高纯金属设备长晶产品(铟) | |||