1.炉体内部尺寸(mm)：850×835×2100
8.电源规格：交流电压 380V±5% 三相五线
2.籽晶有效行程：≥1000mm
9.输出功率：10kW(控制)，280kW(加热)
3.籽晶拉速范围：0.1～3000 mm/h
10.冷却水压力:≥0.3Mpa
4.籽晶杆直径：25mm
11.冷却水流量:17-20m3/h
5.坩埚有效行程：≥475mm
6.坩埚升降速度：0～9000 mm/h
7.真空压力：≤2pa
EFG法大板材第一炉晶体
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