 | 技术参数 | ||
1.拉制晶体最大直径：8″~10” | 19.坩埚转速精度：0.1rpm | ||
2.熔料量（最大MAX）：约370KG | 20.电源电压 / 频率 / 相数：380 V 50HZ 3φ | ||
3.炉体尺寸：φ1200×1400 mm | 21.主变压器的容量 ：190KVA | ||
4.副室尺寸：φ361×4000 mm | 22.加热器最大加热功率：165KW | ||
5.翻板阀通径：φ355 mm | 23.加热器的最大加热电压/电流：55V / 3000A | ||
6.籽晶承重范围：≥450KG | 24.最高加热温度：1600℃ | ||
7.籽晶有效行程： 约4500mm | 25.电极中心距/ 数量：φ550 / 4个(标准) | ||
8.籽晶快升/快降：400~600mm/min | 26.主控柜功率：16KW | ||
9.籽晶慢升/慢降：0.2~8 mm / min | 27.冷炉的极限真空度：＜2Pa | ||
10.籽晶慢速精度：0.02 mm / min | 28.冷炉漏气速率：≤ 2 Pa.L/ 10 min | ||
11.籽晶转速范围：0～40 rpm | 29.耗水量：25 M3 / h | ||
12.籽晶转速精度：0.1rpm | 30.氩气耗量：最大 6000升/ 台、小时 | ||
13.坩埚承重范围：≥600KG | 31.整机占地面积：6500×5700m | ||
14.坩埚行程：约600mm | 32.进氩气压力：0.3 MPa | ||
| 15.籽晶转速范围：1～30rpm | 33.主机闭合高度：9400mm | ||
16.坩埚慢升/慢降：0.02～1mm/min | 34.整机重量：约 10T | ||
17.坩埚慢速精度：0.003mm / min | 35.主机占地面积：3200×2900mm | ||
| 18.坩埚转速范围：0～20 rpm | 36.进水压力/ 进水温度：0.3～0.4 MPa / 20 ±5℃m | ||
  | 120型单晶炉大公斤级第一炉晶（450Kg） | ||
