技术参数 | |||
1.拉制晶体最大直径:8″~10” | 19.坩埚转速精度:0.1rpm | ||
2.熔料量(最大MAX):约370KG | 20.电源电压 / 频率 / 相数:380 V 50HZ 3φ | ||
3.炉体尺寸:φ1200×1400 mm | 21.主变压器的容量 :190KVA | ||
4.副室尺寸:φ361×4000 mm | 22.加热器最大加热功率:165KW | ||
5.翻板阀通径:φ355 mm | 23.加热器的最大加热电压/电流:55V / 3000A | ||
6.籽晶承重范围:≥450KG | 24.最高加热温度:1600℃ | ||
7.籽晶有效行程: 约4500mm | 25.电极中心距/ 数量:φ550 / 4个(标准) | ||
8.籽晶快升/快降:400~600mm/min | 26.主控柜功率:16KW | ||
9.籽晶慢升/慢降:0.2~8 mm / min | 27.冷炉的极限真空度:<2Pa | ||
10.籽晶慢速精度:0.02 mm / min | 28.冷炉漏气速率:≤ 2 Pa.L/ 10 min | ||
11.籽晶转速范围:0~40 rpm | 29.耗水量:25 M3 / h | ||
12.籽晶转速精度:0.1rpm | 30.氩气耗量:最大 6000升/ 台、小时 | ||
13.坩埚承重范围:≥600KG | 31.整机占地面积:6500×5700m | ||
14.坩埚行程:约600mm | 32.进氩气压力:0.3 MPa | ||
15.籽晶转速范围:1~30rpm | 33.主机闭合高度:9400mm | ||
16.坩埚慢升/慢降:0.02~1mm/min | 34.整机重量:约 10T | ||
17.坩埚慢速精度:0.003mm / min | 35.主机占地面积:3200×2900mm | ||
18.坩埚转速范围:0~20 rpm | 36.进水压力/ 进水温度:0.3~0.4 MPa / 20 ±5℃m |
120型单晶炉大公斤级第一炉晶(450Kg) | |||