 | 技术参数 | ||
楼层设计 1.系统尺寸：W×L×H: 3800×4400×5100（mm）（不含楼梯） 顶板高度：6000mm 系统后面区域：1000mm 系统前面区域：3000mm 2.装箱重量：炉腔：5720kg 平台：3900kg 真空泵：635kg 3.水平：安装结束后平台和炉腔应该水平操作区域地面应该水平预防坩埚装卸过程中倾斜 4.连接：电线和顶部电源柜相连接好冷却水，压缩空气，氩气，真空排气装置，和超压通风装置 紧急冷却水 1.流速：应可以至少连续8小时提供最小60LPM流量的冷却水 2.进水压力：0.34-0.44Mpa 压缩空气 1.质量：干燥，干净，无油压缩空气，符合DIN ISO 8573-1，固体颗粒1级，湿度2级，油1级 2.消耗：每块锭约0.5 m3 3.进气压力：0.5-0.8Mpa 4.温度：49℃最大 5.连接接头:φ8快卸接头 氩气 1.质量：最小纯度99.999% 2.流速：长晶过程中：最大50LPM 回充过程中：最小100LPM 3.进气：0.2±0.03Mpa 4.连接：KF16法兰 | 电源 1.电压：80 VAC 50Hz，三相加接地 线 2.电流：最大280A 3.功率：200kVA 4.电线等级：使用电力电缆，并联导 线能承受最大电流80%减额 5.连接：直径约76mm金属线管 冷却水 1.质量：遵守ASTM-D5127(1999)规 定的冷却水 2.流速：120-130 LPM 3.进水压力:0.34-0.44Mpa 4.水压：进水压力和出水压力之间最 小0.25Mpa 5.进水温度：20-25℃，建议使用24 ℃ ±1℃ 6.温度增加:平均8℃，最大12℃ 7.连接：建议使用软管 真空泵排气 1.真空泵排气：连接：直径约60mm
工作环境 1.操作温度：5-30°C，建议24°C 2.相对湿度：25%最大65%
报警装置 1.漏硅警报器：安装在可以看到的平 台前方 2.警示灯塔：安装在可以看到的平台 左前方 | ||
| 多晶炉大公斤级第一炉多晶锭（800Kg） | ||
